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研究・表面分析用AFM
大型試料対応AFM
半導体の進展に伴い、ノードサイズの縮小や3Dデバイスの普及により、その複雑さは増し、従来の光学顕微鏡や走査型電子顕微鏡では追随できないレベルに達しています。これらの要求に応えるために、Large Sample AFMは極めて重要です。弊社は、設計、解析、品質管理など、半導体の多様なニーズに対応し、用途や予算に応じた幅広いモデルを提供しています。
Park AFMの利点は、半導体分析における非常に高い精度、高度な自動化、操作の最適化、および精度にあります。この技術革新により、シームレスな高解像度でのナノスケールの表面イメージングや、サブオングストロームの高さ測定が可能となり、欠陥検査や材料特性評価、効率的な品質管理を実現できます。