ウェハーファブ用AFM
Park AFM Wafer Systemsは、ウェーハ製造におけるナノスケールの精密測定と制御において重要な役割を果たし、デバイスの正確な製造を保証します。
フォトマスクリペア
フォトマスクリペア用のPark AFMは、自動欠陥レビューからリペア、その後の修正検証までを包括的に合理化するソリューションを提供し、リペアの効率とスループットを大幅に向上させます。このシステムは、フォトマスクの微細な欠陥を高精度で検出し、迅速なリペアと精緻な修正検証を実現します。
先端パッケージング
Park AFMが先駆けて導入した白色光干渉法（WLI）は、先進パッケージングや研究開発（R&D）における計測を含む半導体製造のあらゆる段階において、品質保証とプロセス管理を強化します。
フラットパネルディスプレイ向けAFM
OLED、LCD、フォトニクスなどのフラットパネルディスプレイ製造において、Park AFMは300mmを超える大型サンプルの分析に特化し、高精度で非破壊な測定手法を提供します。これにより、微細な表面特性の評価や製品の品質管理が向上し、製造プロセスの効率化と最適化が実現されます。
光学プロフィロメトリー
Park Systems社の光学式プロファイル測定ソリューションは、ナノメートルレベルの垂直分解能を備えた高速・非接触の表面計測を実現し、半導体および最先端の生産環境において、広範囲にわたる高精度な表面測定を可能にします。
HDDメディア検査
Park AFMシステムは、HDDヘッドのナノスケール表面解析と、HDD基板およびメディアの自動欠陥検出を実現し、厳格な品質基準の維持と製造歩留まりの向上に貢献します。