FX40 with monitor

Park NX20

故障解析のための最先端ナノ計測ツール

Park NX20は、故障解析や半導体計測に最適なソリューションです。チップ先端のシャープネスを維持するノンコタクトモード、高速欠陥イメージング、3D測定用の分離型XYスキャンシステムにより、高精度で再現性の高い測定を実現します。低ノイズZ検出器により、高速スキャン中も誤差のない正確なトポグラフィー測定が可能です。表面粗さ測定、欠陥検査イメージング、高分解能電気スキャン、側壁測定などの機能を備えたPark NX20は、複雑な半導体の課題や大型試料の研究に最適です。

大型試料の欠陥検査および欠陥解析

Park NX20は、デバイス故障の原因を解明し、より創造的なソリューションの開発を容易にする独自の機能を備えています。その卓越した精度は、高解像度のデータを提供し、真のノンコンタクト™モードによりチップの長寿命化を実現します。Park NX20は、業界をリードするユーザーフレンドリーな設計と自動化されたインターフェースを特徴としており、ツールの操作やエンジニアの指導にかかる時間とエネルギーを最小限に抑えます。これにより、大規模な問題の解決やタイムリーな故障解析に集中し、ユーザーに価値ある洞察を提供することができます。

  • 3D構造における側面傾斜角度の正確な測定

    Park NX20の革新的な構造により、試料の側壁と表面を検出することで、その角度を測定できます。これにより、ユニットには、より革新的な研究を行い、より深い洞察を得るために必要な多様性が与えられます。

    3D構造における側面傾斜角度の正確な測定
  • メディアや基板の表面粗さ計測

    表面粗さ計測は、 Park NX20が正確な故障解析と優れた品質保証を提供する 重要なアプリケーションの一つです。

    メディアや基板の表面粗さ計測
  • 高分解能電気計測モード

    QuickStep™ SCM: 最速のスキャンキャパシタンス顕微鏡 PinPoint™ AFM: 摩擦のないコンダクティブAFM

    高分解能電気計測モード
  • 最高のAFM測定を再現

    CrN(いわゆる先端チェックサンプル)は、鋭い先端をすぐに摩耗させるほど非常に粗い表面を持っていますが、真のノンコンタクト™モードを使うことで、CrNを200回イメージングしても、先端は摩耗せず、先端の鋭さを維持します。

    最高のAFM測定を再現
  • ピエゾクリープエラーの発生しない 真のサンプルトポグラフィー™

    弊社のAFMは、業界で最も効果的な低ノイズZ検出器が装備されており、広い帯域幅で0.02 nmのノイズが発生します。これにより、非常に正確なサンプルトポグラフィーを取得することができ、エッジオーバーシュートもなく、キャリブレーションの必要もありません。Park AFMを使うことで、時間を節約することができ、より優れたデータを得ることができます。

    ピエゾクリープエラーの発生しない 真のサンプルトポグラフィー™

100µm×100µmのスキャン範囲を持つ2Dフレクシャーガイドスキャナーー

XYスキャナーーは、対称的な2次元屈曲と高荷重圧電スタックから成り立ち、ナノメートルスケールの精密な試料スキャンに欠かせない高い応答性を有し、面外運動を最小限に抑えた高度な直交運動を実現します。

100µm×100µmのスキャン範囲を持つ2Dフレクシャーガイドスキャナーー

スキャン範囲15µmの高速Zスキャナーー

高出力の圧電スタックにより駆動される標準のZスキャナーは、フレクシャー構造によってガイドされ、10.5 kHzの高い共振周波数と48 mm/秒のZサーボ速度を実現します。オプションのロング・スキャン・レンジZスキャナーを使用すれば、Zスキャン・レンジを30μmまで拡張できます。

スキャン範囲15µmの高速Zスキャナーー

低ノイズXYZポジションセンサー

業界をリードする低ノイズのZ検出器は、印加されたZ電圧をトポグラフィ信号として変換します。さらに、低ノイズのXYクローズドループスキャンにより、前後方向のスキャンギャップをスキャン範囲の0.15%未満に制限します。

低ノイズXYZポジションセンサー

オプションのエンコーダ付き モーター駆動XYサンプルステージ

すべての電動ステージに搭載されているエンコーダーは、サンプルの正確な位置決めを実現するため、高い位置決め再現性を提供します。エンコードされたXYステージは1μmの分解能で2μmの繰り返し精度で移動し、エンコードされたZステージは0.1μmの分解能で1μmの繰り返し精度で移動します。

オプションのエンコーダ付き モーター駆動XYサンプルステージ

ステップスキャンの自動化

モーター駆動のサンプルステージを使用することで、Step-and-Scanはユーザーがプログラム可能な複数領域のイメージングを実現します。この自動化機能により、繰り返しのイメージングプロセスでユーザーの介入を最小限に抑え、生産性を向上させることができます。

Step-and-Scan スキャン・プロセスは次のように構成されます:

  • イメージをスキャン
  • カンチレバーを持ち上げる
  • 電動ステージをユーザー定義の座標に移動する
  • アプローチ
  • スキャンを繰り返す

アクセス可能なサンプルホルダー

ユニークなヘッドデザインにより、サンプルとチップへのオープンサイドアクセスが可能です。XYサンプルステージで選択された移動範囲オプションに応じて、ステージ上に配置できる最大サンプルサイズは、直径150 mm x 20 mmまたは直径200 mm x 20 mmのいずれかとなります。

アクセス可能なサンプルホルダー

Slide-to-Connect SLDヘッドによるオート・エンゲージ

AFMヘッドは、アリ溝レールに沿って迅速に所定の位置にスライドし、自動的にロックされ、精密な位置制御を行うために制御電子機器に接続されます。スーパールミネッセンスダイオード(SLD)は、反射面の精密なイメージングを提供し、可視スペクトルの実験に干渉せずに、正確なピコニュートンレベルの力-距離測定を可能にします。

Slide-to-Connect SLDヘッドによるオート・エンゲージ

LED照明内蔵ダイレクト・オンアクシス高出力光学系

直径51mmの超長作動距離と0.21NAのカスタム設計対物レンズは、1.0μmの解像度と鋭い軸上光学視野を提供します。トップダウンのダイレクトビューにより、ターゲットエリアへのナビゲーションが容易です。EL20x対物レンズは、20 mmの作動距離、0.42 NA、0.7 µmの解像度で、鮮明な視野を実現します。

LED照明内蔵ダイレクト・オンアクシス高出力光学系

アドバンスドSPMモード およびオプション用拡張スロット

拡張スロットにオプションモジュールを挿入することで、アドバンスドSPMモードを利用できます。Park NXシリーズAFMのモジュール設計は、製品ライン全体でオプションの互換性を確保しています。

アドバンスドSPMモード およびオプション用拡張スロット

垂直アライメント電動Zステージとフォーカスステージ

Zステージとフォーカスステージは、常にクリアな視野を維持しつつ、カンチレバーとサンプル表面の位置調整を行います。フォーカスステージはモーター駆動でソフトウェア制御されており、透明サンプルや液体セルのようなアプリケーションにおいて必要な高い精度を提供します。

垂直アライメント電動Zステージとフォーカスステージ

高速24-bitデジタル・エレクトロニクス

NXシリーズAFMは、弊社独自の真のノンコタクト™モードにおける精度と速度を向上させるために、24-bitの高速デジタルユニットであるNXエレクトロニクスコントローラを採用しています。このコントローラは低ノイズで高速なデータ処理を実現し、ナノスケールのイメージングと精密な電気測定に最適です。

高速24-bitデジタル・エレクトロニクス
  • 高速24-bitデジタル・エレクトロニクス
  • デジタル信号処理機能を内蔵
  • 統合された信号アクセス・ポート

Applications

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