Park FX200は、パーク・システムズの最新の原子間力顕微鏡技術を搭載した200mmの大型試料に対応した最先端原子間力顕微鏡です。このモデルはノイズフロアを劇的に低減し、熱ドリフトを最小限に抑える先進的な機械構造を備えており、卓越した安定性を提供します。高速なZサーボ性能と改善されたハイパワーサンプルビューにより、作業効率とイメージング能力が向上しました。また、プローブ認識からプローブ交換、レーザービームアライメントまでの全てが自動化され、200mmサンプルの全領域が観察できるマクロ光学系などの機能により、ユーザーエクスペリエンスが簡素化され、生産性が最大化されます。光学式オートフォーカス、ナビゲーション、複数の座標での連続測定、自動AFMスキャンパラメーター設定、自動データ解析などと複雑な操作を簡素化させる機能を多数搭載しており、研究および産業アプリケーションの両方に理想的な選択肢です。FX200の優れた性能と使いやすさは、科学者やエンジニアがナノスケールのイメージングと分析において新たな洞察と進歩を達成できるようサポートします。
機械構造の改良により、動作ノイズフロアと熱ドリフトが低減され、従来の限界を超えるSLDビームスポットの小口径が容易になりました。これにより、より高い測定精度と高解像度のイメージングを実現します。
• 対物レンズを通して集光されるSLDビームにより、非常に小さいレーザースポット径を実現
• 11µmのビーム径により、高速イメージングカンチレバーへの応用が可能
• フレクシャーガイド構造による高出力の圧電スタックに駆動
• 新しいFX AFM電子制御装置により、より高速で精度の高いZサーボ性能を実現
真のノンコンタクト™モードは、サブナノメートルスケールでのチップと試料間距離の前例のない制御を実現します。Park FX200は、他社のどのAFMよりも高速で高精度な真のノンコタクト™モードを搭載しています。
産業界のニーズに合わせ、最大200mmウェハーを含む様々な試料サイズに対応。
真空チャックを使うことで最大16個のクーポンサイズの試料を設置でき、1回のセットアップで多様な測定が可能です。
最大200mmのウェハーに対応
半導体製造や材料科学研究に不可欠な最大200mmまでのウェハーに対応。真空チャックを搭載することで、高解像度イメージングや精密測定のための安定した位置決めを実現し、汎用性と効率性を高めます。
クーポンサイズの試料を16個まで設置可能
真空チャックを使うことで最大16個のクーポンサイズの試料を同時に設置でき、1回のセットアップで多様な測定を可能にすることで生産性を高めます。この機能はダウンタイムを減らし、効率を最大化させるため、複数の試料を迅速に分析する必要がある研究所に理想的です。
プローブの認識・交換、レーザービームアライメント、パラメータ調整などの重要な作業を自動化させ、効率を高めます。16個のプローブスロットを備え、測定やモード移行を繰り返し行うことができるため、ダウンタイムの削減も期待できます。
プローブ識別カメラは、新しいプローブのチップキャリアに刻印されたQRコードを読み取り、タイプ、モデル、アプリケーション、使用方法など、各チップに関するすべての関連情報を表示します。これにより、各作業に最適なプローブチップを素早く選択し、精度と効率を確保することができます。
自動プローブ交換機能により、古いプローブを完全自動で簡単かつ安全に交換できます。繰り返し測定やモード移行に対応する16個のプローブスロットを備え、迅速かつ自動的なプローブ交換により、ダウンタイムを短縮し、効率を向上させます。
自動レーザービームアライメントは、カンチレバーの適切な位置にレーザービームを照射し、さらにPSPD上のスポット位置を縦方向と横方向の両方で最適化します。X軸、Y軸、Z軸を移動させ、歪みのない鮮明な画像を、ボタンをクリックするだけで自動的に得ることができます。
関心領域（ROI）へのズームイン機能は、広視野のサンプルカメラを使用して200mmウェハー全体を表示し、迅速かつ正確な位置決めを可能にすることで分析を簡素化します。これにより、広範な調査スキャンから詳細な拡大スキャンまで、ターゲット領域の特定に必要な時間が短縮されます。さらに、洗練された光学ビジョンにより、1 µm以下の線幅を解像し、卓越した鮮明度を実現します。
200mmウェハーやマルチサンプルチャック上の試料など、大型試料の座標設定を事前に定義し、自動的に実行することができます。トポグラフィーやアドバンストモードを含むシーケンシャル測定をサポートし、研究・産業環境におけるワークフローを効率化します。
Park FXコントローラーは、Park FXシリーズの性能を強化するために特別に設計されています。この開発により、接触共振PFM（CR-PFM）やデュアル周波数共振トラッキング（DFRT-PFM）などの高度なピエゾ応答力顕微鏡（PFM）アプリケーションを、ハードウェアに追加することなく実現し、原子間力顕微鏡の最新の進歩を最大限に活用できるようになりました。
