インライン計測用AFM

光学プロフィロメトリー

光学プロファイル測定は、ウェハの表面形状、薄膜、および微細構造を広い範囲にわたって正確に評価するための、高速かつ非接触の表面計測を可能にします。ナノメートルレベルの垂直感度と優れた測定安定性を備えたPark社の完全自動光学プロファイル測定システムは、半導体および先端製造分野の幅広い用途において、信頼性の高い表面分析を実現します。