製品紹介

研究・表面分析用AFM

パーク・システムズは、研究室でお使いいただける卓上型AFMから、生産性の高いマルチサンプルAFMシステムまで、あらゆる研究用AFMラインナップを提供します。また、自動AFMやアプリケーションに特化した高真空AFMなどの製品ラインナップも展開しています。

製品紹介

Park AFMの特長

Park AFMは、先進技術による優れた性能を提供します。独自のフレクシャーベースによるXYスキャナーと、電子制御のZスキャナーにより、ナノメートル単位の精密なデータを取得し、歪みのないAFM像を保証します。弊社のノンコンタクト技術により、探針と試料の完全性を維持しながら高解像度のスキャンを実現します。ユーザーフレンドリーな設計は、試料へのアクセスを容易にし、探針の迅速なアプローチと関心領域の効率的な探索をサポートします。さらに、AI搭載のSmart Scanオペレーティングシステムにより、AFMの操作が簡素化され、誰でも簡単に扱えるようになりました。Park AFMの信頼性、精度、使いやすさは、弊社の先進技術の融合によって実現されています。

Parkのクロストーク除去テクノロジー

Park AFMは、ナノレベルの高分解能で信頼性と再現性のあるデータを提供します。世界で唯一のノンコンタクトAFMとして、
試料を保護しながらチップの寿命を延ばす設計を採用しており、フレクチャーベースの独立したXYおよびZスキャナーーにより、比類のない精度と解像度を実現しています。

クロストーク除去による
正確なXYスキャン

弊社と競合製品との根本的な違いは、スキャナーーの構造にあります。弊社独自のフレクチャーベースの独立したXYスキャナーーとZスキャナーーの設計により、AFM電子コントローラーを搭載した AFMヘッド(Zスキャナーー)により、ナノ分解能でのデータ精度がさらに向上しました。

  1. 二つの独立したクローズドループXYスキャナー
    およびフレクチャー式Zスキャナーー
  2. フラットな直交XYスキャンで湾曲を減少
  3. ソフトウェア補正を必要としない高精度測定

低ノイズZ検出器による正確な
AFM形状測定

Park AFMは、業界で最高水準の低ノイズZ検出器を搭載しており、0.02nmのノイズを実現しています。これにより、エッジのオーバーシュートのない、 高精度なサンプルの形状測定を行うことができます。Park AFMは時間を節約し、より良いデータを得ることに貢献します。

低ノイズZ検出器による正確なサンプル形状測定

  1. トポグラフィーに低ノイズZ検出器信号を使用
  2. 広帯域で0.02nmの 低ノイズZ検出器を実現
  3. エッジのオーバーシュートの発生なし
  4. キャリブレーション不要

真のノンコンタクト™モード:
チップおよびサンプルへのダメージレス計測による測定精度の向上

真のノンコンタクト™モードは、スキャン中のチップとサンプルのダメージを防ぐことにより、
高解像度で正確なデータを取得し続けることができるPark AFMシステム独自のスキャンモードです。