Park FX300

Park FX300

研究、品質管理、および品質保証のための最高峰の300 mm AFM

Park FX300は、原子間力顕微鏡における真のゲームチェンジャーとなるべく、研究用途と産業用途の境界をなくすように設計されています。研究、品質管理、信頼性保証に最適化された様々なAFM技術をサポートしています。Park FX300は、大面積の表面粗さプロファイリングや、ウェハーレベルの精密なアライメントとオリエンテーションコントロールなど、業界特有の研究オプションを提供します。また、超クリーンな測定環境を実現するために、サンプルの可視化とコンタミネーション管理を強化する光学構成を改良しています。これらの特長により、パークFX300は、半導体の後処理、ウェハーレベルのパッケージング、および産業研究開発におけるその他の高度なアプリケーションに不可欠なソリューションとなっています。

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産業・研究用AFMアプリケーションのための高度な機能

  • 最先端のアプリケーションを支える300mmウェハー計測

    最大300mmウェハーの測定が可能で、オプションのナノIRアプリケーションを含む幅広い高度なAFMアプリケーションをサポートします。

    最先端のアプリケーションを支える300mmウェハー計測

  • 低ノイズフロアと最小限の熱ドリフト

    機械構造の改良により、動作ノイズフロアと熱ドリフトが低減され、従来の限界を超えるSLDビームスポットの小口径が容易になりました。これにより、より高い測定精度と高解像度のイメージングを実現します。

    低ノイズフロアと最小限の熱ドリフト

  • レーザースポットサイズの縮小

    • 対物レンズを通して集光されるSLDビームにより、非常に小さいレーザースポット径を実現
    • 11µmのビーム径により、高速イメージングカンチレバーへの応用が可能

    レーザースポットサイズの縮小

  • Zサーボ性能の高速化

    • フレクシャーガイド構造による高出力の圧電スタックに駆動
    • 新しいFX AFM電子制御装置により、より高速で精度の高いZサーボ性能を実現

    Zサーボ性能の高速化

  • 産業用R&Dに特化したアプリケーション

    長距離のラインプロファイリング、レシピに基づいた繰り返し測定、回転可能なステージなど、産業用R&Dアプリケーションに特化。

    産業用R&Dに特化したアプリケーション

  • 一体化された産業用グレード設備

    ファシリティコントローラー、非常用停止機能、装置の状況を示すシグナルタワー、ファンフィルターユニットを使用した清浄度管理を備えた産業用グレードの装置。

    一体化された産業用グレード設備

インテリジェント自動システム

プローブの認識・交換、レーザービームアライメント、パラメータ調整などの重要な作業を自動化させ、効率を高めます。16個のプローブスロットを備え、測定やモード移行を繰り返し行うことができるため、ダウンタイムの削減も期待できます。

プローブ識別カメラは、新しいプローブのチップキャリアに刻印されたQRコードを読み取り、タイプ、モデル、アプリケーション、使用方法など、各チップに関するすべての関連情報を表示します。これにより、各作業に最適なプローブチップを素早く選択し、精度と効率を確保することができます。

自動プローブ交換機能により、古いプローブを完全自動で簡単かつ安全に交換できます。繰り返し測定やモード移行に対応する16個のプローブスロットを備え、迅速かつ自動的なプローブ交換により、ダウンタイムを短縮し、効率を向上させます。

自動レーザービームアライメントは、カンチレバーの適切な位置にレーザービームを照射し、さらにPSPD上のスポット位置を縦方向と横方向の両方で最適化します。X軸、Y軸、Z軸を移動させ、歪みのない鮮明な画像を、ボタンをクリックするだけで自動的に得ることができます。

簡易化された操作性

自動連続測定

300mmウェハーやマルチサンプルチャック上の小型サンプルなどの座標を事前に設定し、自動測定することができます。形状測定や応用モードを含む連続測定をサポートし、研究および産業環境におけるワークフローを効率化します。

ハイエンド向け次世代AFMコントローラー

Park FXコントローラーは、Park FXシリーズの性能を強化するために特別に設計されています。この開発により、接触共振PFM（CR-PFM）やデュアル周波数共振トラッキング（DFRT-PFM）などの高度なピエゾ応答力顕微鏡（PFM）アプリケーションを、ハードウェアに追加することなく実現し、原子間力顕微鏡の最新の進歩を最大限に活用できるようになりました。

controller image
  • DFRT-PFM (外部アンプなし)
  • 安全性の向上と環境をリアルタイムでモニタリング
  • チップバイアス変調帯域幅を拡大したCR-PFMの直接実現
  • 高速イーサネット接続による迅速なデータおよび画像処理
FX40 with monitor

Park ナノ赤外(IR)分光法

化学分析のための最新ナノ赤外分光法を備えた大型装置

ParkナノIRは、赤外（IR）分光と原子間力顕微鏡（AFM）を一体化したシステムです。分光箇所は5nmの空間分解能で化学的な同定を行います。サンプルを傷つけないノンコンタクト技術を使用した分光スキャンと業界最高の空間分解能を提供します。AFMでの形状測定は、サブオングストロームの高さ精度でナノメートルオーダーの3D形状と機械特性を同時に取得できます。