ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置
大型ウェーハ研究のために特別製作
NX20 300 mmは、大型サンプルを最適に測定できるよう設計されました。低ノイズAFM測定を通して、300 mmウェーハの領域全体を分析することができます。 これにより、まったく新しい自動化測定の可能性が広がり、ユーザーはよりシンプル、且つ迅速に、そして精度の高い作業を叶えられます。
Park NX20 300mm
300mmウェーハの測定・解析に対応した 自動ナノ計測ツール
Park NX20 300 mmは、300 mm X 300 mmのサイズの計測を完全自動化させた業界初の大型サンプル向け原子間力顕微鏡（AFM）です。 新しくアップグレードされたPark NX20のシステムは、故障解析や品質管理における研究のために設計され、 手間のかかるサンプルの交換作業もなしに300 mmのウェーハ全体をより効率的に検査できます。Parkの革新的な防振技術は、 実際の騒音水準を0.5 Å、もしくは0.3 Å RMS未満で維持させます。検証されたAFMの性能とワンクリック自動測定機能により、 サンプル毎のパラメータ調整の必要性をなくしたことで、操作工程においてより効率的でユーザーに優しい仕組みになっております。 弊社独自のSmartScan計測インターフェイスにより、300 mm X 300 mmの領域全面において、 安定的で再現性の高い連続自動多点計測を簡単に実現できます。大型試料を扱うFA, QA及びQCエンジニアにとって、Park NX20 300 mmは最適の装置です。
x
