エリプソメーター

ブリュースター角顕微鏡 表面検査メトロロジー

透明誘電体基板上の極薄有機薄膜を直接観察することができる顕微鏡技術です。この測定法はブリュースター角の下で光がP偏光入射した場合、表面からは反射が起こらないという現象に基づいています。 ブリュースター角の条件下ではバックグラウンドが完全に真っ暗になることによって、検出器（CCDカメラ）の強度を最大にして使用することが可能です。屈折率の異なる非常に薄い有機膜（例えば2 nmの単層膜）においてはブリュースター角の条件が崩れるため反射が発生します。通常、反射率は入射光強度の100万分の1程度になります。 この反射光を利用して、層の横方向の形状を高コントラストで画像化することができ、ライフサイエンスや材料研究への応用が期待されます。