Park FX40
小型試料に対応する最先端のAFM
Park FX40は、Park Systems最新のAFM（原子間力顕微鏡）イノベーションで、小型試料の高分解能イメージングに対応して設計されています。低ノイズフロア、最小限の熱ドリフト、高い機械的安定性を備え、FX40はこれまでにない高精度と信頼性を提供します。
すべてのPark製AFMと同様に、FX40は直交型スキャンシステムとTrue Non-Contact™（完全非接触）モードを搭載し、極めて繊細なサンプルに対しても高精細で正確な測定を実現します。
FX40の主な特徴は、FXシリーズを象徴する主要機能である、プローブ自動交換、自動レーザーアライメント、そしてサンプルビューカメラにより、操作の効率化と生産性の向上を実現します。強力なFX AFMコントローラは、8チャンネルのロックインアンプと高度な信号処理に対応する5 MHzの帯域幅を備え、FX40は幅広い最先端のモードとオプションをサポートします。
精度と使いやすさの両方を追求したFX40は、ナノスケールのイメージングと分析に理想的なソリューションです。
特長
優れたFXメカニカルデザイン
FXシリーズAFMは、機械的ノイズを最小限にえる設計が施されています。光学顕微鏡はZステージから分離されており、Zステージにかかる重量を軽減することで、機械的な外乱への影響を低減しています。Zステージ自体は、高剛性のクロスローラーガイドと2つのベアリングブロックを採用し、堅牢に構築されています。
FX40は、熱膨張係数の低い膨張整合材料を使用することで熱ドリフトを抑制し、長期にわたり安定した性能を保証します。
FXレーザービームパス
FX光学系は、ファイバー結合レーザー（スーパールミネッセントダイオード；SLD）を光学顕微鏡のアセンブリに統合します。レーザービームは対物レンズを通して集光され、光学視野の中心に固定されます。
自動レーザービームアライメント
ビジョンガイドアライメントシステムは、カンチレバーの形状と位置を検出し、光学系のXYステージを移動させて、レーザービームが集光する視野の中心にカンチレバーを正確に整列させます。FXヘッド内の2つの精密モーターがステアリングミラーを調整し、レーザービームを光検出器（PSPD）の中心に正確に整列させます。
自動レーザービームアライメントと自動PSPDセンタリングを組み合わせることで、セットアップ時間を短縮し、一貫したアライメントを保証し、新規ユーザーと熟練ユーザーのどちらにとってもスムーズな操作を実現します。
自動プローブ交換
AFMのプローブ交換は、経験豊富なユーザーにとっても困難な場合があり、カンチレバーの破損につながることも少なくありません。Park AFMは、マウントタイプのカンチレバーを使用することにより、カンチレバーをあらかじめ固定した状態で供給できるのでチップの位置決めを容易にし、この問題を解決します。
各チップキャリアには、プローブの種類、シリアル番号などの詳細情報、製造日、仕様などの詳細情報を含むQRコードが刻印されています。
FXヘッドのZスキャナーは、移動対応のマウント用の3つの高精度ボールシートを備え、ベースにはマグネットが取り付けられているため、安全で信頼性が高く、再現性のあるマウントの位置を確保します。
自動チップ交換 (ATX) モジュールは、最大8個のプリマウントプローブを格納できます。ATXカメラがプローブのQRコードをスキャンすると、SmartScan™ AFMオペレーティングソフトウェアが各スロットのプローブ情報を表示し、ユーザーは簡単なマウスの操作で空きスロットまたは使用中のスロットを選択できます。
スロット選択後、AFMのヘッドは選択されたスロットの強力な磁石の位置に応じて、プローブを取り外し、または現在装着中のプローブをスロットに格納するためにZ軸方向に移動します。
サンプルビューカメラ
サンプルビューカメラは、試料のキャプチャ画像を撮影し、ユーザーはマウスをポイント＆クリックするだけで、XYステージを任意の場所に移動できます。これにより、関心領域を簡単に見つけて同じ場所に戻ることができます。
改良されたOn-Axis光学機
遮るもののない光学顕微鏡は明瞭な視野を提供し、最小0.87μmの線幅を解像できます。
Park AFMテクノロジー
直交性スキャン
チューブスキャナーを備えた従来のAFMは、面外方向の運動と軸のクロストークの影響を受け、特に広いスキャンエリアでは画像の歪みが生じます。FX40は、すべてのPark AFMと同様に、フレクシャガイド式アーキテクチャを採用した高度な直交性スキャンシステムを搭載しています。2Dフレクシャスキャナーが試料をXY平面内で移動させ、別個の1DフレクシャスキャナーがプローブのZ軸の運動を制御します。この分離式スキャナーシステムにより、面外方向の運動を最小限に抑え、高速で動的なパフォーマンスと高い直交性・直線性を有するスキャンが可能となります。XYフィードバック用の低ノイズ光学センサーとZ制御用の超低ノイズひずみゲージセンサーを備えた備えたクローズドループサーボ制御システムにより、すべての軸において高精度かつ再現性の高いスキャンを実現します。
XYスキャナは、積層ピエゾアクチュエーターとフレクシャーヒンジ構造を採用することで、垂直干渉のないフラットで純粋な水平運動を実現するように設計されています。ポジションセンサーはスキャナーの中央に配置され、サーボ制御に対する直接的なフィードバックを提供し、スキャンエリア全体の位置決め誤差を最小限に抑えます。この設計により、大きな試料をスキャンする場合でも、一貫した精度と安定性が確保されます。
Park AFMテクノロジー
True Non-Contact™（完全非接触）モード
FX40は、Park Systemsが独占的に提供する独自のテクノロジーであるTrue Non-Contact™（完全非接触）モードを備えています。True Non-contact（完全非接触）モードは、AFM探針と試料表面の間の引力であるファンデルワールス力を検出することでトポグラフィーを取得します。
