ParkのAFMは、試料表面の特定ポイントで電流電圧スペクトロスコピーを実行する機能を備えています。パーク・システムズのコンダクティブAFMの低ノイズオプションにより、サンプルの電気特性における非常に小さな変化さえも検出できます。
SRAM
Scan size:2 µm
Using Probe: CDT-ContR
Imaged on a Park NX10 using I-V Spectroscopy Mode.
Using a cantilever as a nanometer scale contact, IV spectroscopy provides a plot of the current (I) as a function of the tip bias voltage (V) applied to a sample. In order to investigate the electrical properties of the sample surface, IV spectroscopy is measured on the selected sample area after taking a sample image.