FX40 with monitor

Accurion EP4

薄膜を可視化

イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。 EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプソメトリーの感度で薄膜の厚みや屈折率などの光学特性の評価を行うことが可能です。従来のエリプソメーターでは、一点ずつの測定を行う必要があり複数の領域の同時測定はできず、位置分解能はスポットサイズに依存していました。位置分解能を得ることはできませんでした。一方、EP4では顕微分解能を有するエリプソメトリー像を得ることが可能であり、視野内にあるすべての構造を顕微分解能で一度に測定することが可能です。また、1度の測定で、厚みと屈折率の分布の3Dマップを記録することも可能です。 EP4は、顕微鏡光学系と偏光光学系を用いることで、ellipsometric-enhanced contrastの可視化が可能であり、薄膜の屈折率や厚みのわずかな変化を、カメラのライブビューで確認することが可能です。これにより、エリプソメトリー測定の準備段階で、厚み(0.1nm~10μm)や屈折率の値を得たい範囲(regions of interest)を容易に特定することができます。 AFM、QCM-D、リフレクトメトリー、ラマンなどのオプションと組み合わせることで、他の測定技術との同領域測定が可能です。 さらに、特定のアクセサリーを組み合わせることによって、測定環境や温度変化を制御した測定を可能にします。

エリプソメトリーの顕微鏡的手法

視野内のすべてのピクセルを同時に測定

各ピクセルの分光エリプソメトリー

最高の横方向エリプソメトリー分解能

1 µmの微細構造で厚さと屈折率を決定可能

まず識別し、その後測定

ライブエリプソメトリービューで領域を描画して直感的に測定領域を選択

連続分光イメージングエリプソメトリー

紫外線から近赤外線まで

Key Features

  • モジュール式セットアップ: BAM、単波長、多波長、分光エリプソメーターなど、さまざまな構成にアップグレード可能。
  • 190/250/360 nmから1000/1700/2700 nmまでの波長範囲での分光イメージングエリプソメトリーが可能。
  • 面内方向のエリプソメトリー位置分解能は最高1μmで、微細構造を持つ薄膜の厚みと屈折率を測定。
  • Ellipsometric enhanced contrast imagesによるサンプルの顕微像をライブでの可視化。
  • ライブビューで領域を可視化し、直感的に測定領域を選択可能。
  • 視野内の複数の領域を同時に選択、測定可能。
  • 裏面反射を非破壊で抑制するknife-edge illumination(特許取得)
  • セル、温度制御、流量制御装置などの追加アクセサリーを使用することで、測定の可能性を広げることが可能。
  • 品質管理: 製造ラインでの品質管理のためのOEM版も提供可能。

The EP4, our latest generation of imaging ellipsometers, combines ellipsometry and microsopy. This enables the characterization of thickness and refractive index with the sensitivity of ellipsometry on micro-structures as small as 1 µm.

The modular EP4 software allows direct control and parallel or offline analysis. The EP4 control operates the instrument. Regions for measurements can be selected in the live view. Multiple samples can be arranged and measured automatically. The DataStudio enables data processing of the recorded data. Histogram analysis and line profiles offer a great insight into the details for your samples. The EP4 Model allows the modeling of the samples. Its intuitive handling concept helps the user to create simple to complex sample structures of thin films. It yields information on thickness and refractive indices of the sample. Further physical parameters, e.g. Bandgap or Volume Fraction of a mixed material layer can be obtained as well.

アプリケーション

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2D材料

イメージング分光エリプソメトリーは グラフェンや他の2D材料を特徴づけ、CVD成長、剥離、およびエピタキシャル 成長フレークをep4エリプソメーターで 分析します。

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曲面

エリプソメトリーは平面および曲面上の薄膜と ARコーティングを測定します。 ep4エリプソメーターはマイクロレンズアレイの ARコーティング問題に対処します。

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透明基板

透明基板上の薄膜はフレキシブルディスプレイの 鍵です。ナイフエッジ照明は反射を抑制し、 非破壊検査を可能にします。

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表面工学

シラン化は塗料や接着剤の無機/有機成分を 結合させます。イメージングエリプソメトリーは、 蛍光マーカーなしで構造配列の 結合形成を検査します。

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空気-水界面

空気/水界面は生物物理学および産業に おいて重要です。ブルースター角顕微鏡(BAM)はLangmuir-Blodgett単分子層および 生体材料を視覚化し、 分子、タンパク質、薬物、DNA、およびナノ粒子を調査します。

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異方性フィルム

異方性微小結晶はエレクトロニクスで有望です。イメージングミューラーマトリックス エリプソメトリー(IMME)は異方性薄膜サンプル(ブラックリンなど)の屈折率および 光軸方向を測定します。

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バイオインターフェース

イメージングエリプソメトリー(IE)は単層および サブ単層厚さに対して高感度を提供します。 これはエリプソメトリ角度のマイクロマップおよび 厚さ変化のコントラストモードを提供します。セルやQCM-Dなどのアクセサリーは、生物学的応用能力を向上させます。

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MEMS

分光エリプソメトリーは1µmのMEMS構造を 測定し、0.1nmの膜厚分解能を提供します。 単一の測定で厚さ、屈折率、組成、および汚染を提供します。ECMモードは迅速な品質管理と曲面測定を 可能にします。

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フォトニクス

分光エリプソメトリーは1µmの横方向分解能と 0.1nmの厚さ分解能で光ファイバーと導波路を 測定します。190nmから1700nmまでをカバーし、2700nmまで拡張可能で、光学データと迅速な品質管理を提供します。

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ディスプレイ

ミクロンサイズの領域に対する分光測定には、 1回の実行で複数の測定を行うための ROIコンセプトを使用します。 190nmまでのUV範囲はディスプレイ材料を 特性化します。単一の測定で厚さ、分散、および組成を提供し、RCE6モードは20秒未満のタクトタイムを 可能にします。

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バッテリー材料

作動中のイメージングエリプソメトリーは 充電および放電中のバッテリー電極材料を監視し、DeltaとPsiの微視的マップを測定します。さまざまな領域からデータを提供し、後処理分析にはプロファイル、サブリージョン、およびヒストグラム分析が含まれます。