故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング
故障解析担当エンジニアは、Park NX-Hivac型AFMにより真空SSRM計測の感度と分解能を向上できます。真空中で測定することにより更に高い精度と優れた再現性が得られ、またプローブ先端と試料間のダメージも大気中やN2環境よりも軽減されるので、ユーザーはこの故障解析アプリケーションで広範囲のドーパント濃度と優れた信号応答で計測が可能になります。
Park NX-Hivac は、精密な半導体故障解析および敏感な材料研究に理想的な高真空AFMです。高真空環境で動作し、精度と再現性を向上させ、チップとサンプルの損傷を最小限に抑えます。走査拡散抵抗顕微鏡 (SSRM) を使用したドーパント濃度評価を含むさまざまな用途の鍵です。Park Systems の直感的な Hivac Manager と自動真空制御を備えた Park NX-Hivac は、真空プロセスを合理化し、迅速な真空条件を提供します。Park NX-Hivac は、酸素のない真空環境での高精度研究を提供します。
故障解析担当エンジニアは、Park NX-Hivac型AFMにより真空SSRM計測の感度と分解能を向上できます。真空中で測定することにより更に高い精度と優れた再現性が得られ、またプローブ先端と試料間のダメージも大気中やN2環境よりも軽減されるので、ユーザーはこの故障解析アプリケーションで広範囲のドーパント濃度と優れた信号応答で計測が可能になります。
真空環境でSSRM計測を行うことにより、チップ-試料間の力を小さくしてチップ及び試料の両方のダメージを大幅に削減できます。これにより、それぞれのチップ寿命を伸ばすことで、測定のコストと運用効率を向上させることができ、また同時に、空間分解能とS/N比も改善できる為にもっと正確な測定結果を得ることができます。したがって、NX-Hivac型を使用した真空SSRM計測は故障解析エンジニアに彼らのスループットを向上させ、コストを削減と精度を改善するという素晴らしい選択を与えてくれます。