高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM
パーク・システムズは、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムである革新的なPark 3DMシリーズを発表しました。傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャンシステムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の課題を克服します。弊社の真のノンコンタクト™モードを使うことで、Park 3DMシリーズは、高アスペクト比の先端を持つ柔らかいフォトレジスト表面の非破壊測定を可能にします。