FX40 with monitor

Accurion RSE

レファレンス分光エリプソメトリー

反射型分光エリプソメーター(Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE)は、エリプソメーターをベースにした反射率計で、品質管理などにおける高速な膜厚測定用に設計されています。0.1nmから10μmまでの厚みを正確に測定することが可能です。1秒間に200のスペクトルを記録し、100 mm x 100 mmの領域をわずか12分で測定可能、67000のスペクトルを取得することが可能です。

リファレンス分光エリプソメトリー(RSE)の概要

テクノロジー

従来のエリプソメトリーや リフレクトメトリーと比較して、リファレンス分光エリプソメトリー のメリットは何でしょうか?

リファレンス分光エリプソメーターは、エリプソメーターの高感度とリフレクトメーターの 測定速度を兼ね備え、さらにそれを上回る性能を有しています。 レーザーエリプソメーターと比較すると、450~900nmの分光情報を含んでいます。これは、例えば厚みや光学定数など、薄膜層の複数のパラメータが変化する場合に重要です。 基本的に、リファレンス法は絶対法よりも感度が高い。したがって、非常に薄い層に焦点を当てた場合、RSE法は従来のエリプソメトリーよりも優れています。リフレクトメトリーに比べて薄膜に対する 感度は非常に高いと言えます。

テクノロジー

エリプソメトリーとは?

エリプソメトリーは、表面の情報を得るために約100年前から使われている、非常に感度の高い光学的手法です。エリプソメトリーは、光の偏光状態が、表面で反射したときに変化することを利用したものです。その表面が薄膜(または薄膜の積層)で覆われている場合、薄膜と基板の光学系全体が偏光状態の変化に影響を与えます。そのため、フィルムの特性、特にフィルムの厚さに関する情報を推測することが可能となります。

テクノロジー

リファレンス分光エリプソメトリー はどのように機能するのですか?

(Referenced Spectroscopic Ellipsometry) RSEは特殊なエリプソメーターで、サンプルとリファレンスを比較することで測定を行います。この方法で、サンプルとリファレンスの光学的なわずかな差を測定する ことができます。リファレンスの向きにより、測定中に光学部品を動かしたり変調させたりする必要がなく、1回の測定で完全な高解像度スペクトルを得ることができます。そのため、1秒間に200個のスペクトルを取得することが可能です。また、同期したX-Yステージにより、広範囲における膜厚マップを数分で取得することが可能です。 基本原理がエリプソメトリーであるため、複素屈折率や膜厚などの光学パラメータを得るためには、測定データを光学モデルにフィッティングする必要があります。高速でデータ処理を行うためには、Look up tableを用いる方法が有用です。この方法は事前に測定値と目的物理量の相関表(Look up table)を計算しておくことで、目的物理量をリアルタイムで得ることを可能にします。

Key Features

  • 1測定でのリファレンス分光エリプソメトリー測定
  • 200スペクトル/秒の測定速度
  • 膜厚評価のためのライブデータ処理
  • スポットサイズ:50 x 100 µmスポットサイズ(AOI = 60°における)
  • 膜厚の範囲 < 1nm - 10 µm
  • スペクトル範囲 450 - 900 nm

Accurion RSE: Fast Wafer Inspection

アプリケーション

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2D材料

イメージング分光エリプソメトリーは グラフェンや他の2D材料を特徴づけ、CVD成長、剥離、およびエピタキシャル 成長フレークをep4エリプソメーターで 分析します。

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曲面

エリプソメトリーは平面および曲面上の薄膜と ARコーティングを測定します。 ep4エリプソメーターはマイクロレンズアレイの ARコーティング問題に対処します。

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透明基板

透明基板上の薄膜はフレキシブルディスプレイの 鍵です。ナイフエッジ照明は反射を抑制し、 非破壊検査を可能にします。

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表面工学

シラン化は塗料や接着剤の無機/有機成分を 結合させます。イメージングエリプソメトリーは、 蛍光マーカーなしで構造配列の 結合形成を検査します。

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空気-水界面

空気/水界面は生物物理学および産業に おいて重要です。ブルースター角顕微鏡(BAM)はLangmuir-Blodgett単分子層および 生体材料を視覚化し、 分子、タンパク質、薬物、DNA、およびナノ粒子を調査します。

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異方性フィルム

異方性微小結晶はエレクトロニクスで有望です。イメージングミューラーマトリックス エリプソメトリー(IMME)は異方性薄膜サンプル(ブラックリンなど)の屈折率および 光軸方向を測定します。

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バイオインターフェース

イメージングエリプソメトリー(IE)は単層および サブ単層厚さに対して高感度を提供します。 これはエリプソメトリ角度のマイクロマップおよび 厚さ変化のコントラストモードを提供します。セルやQCM-Dなどのアクセサリーは、生物学的応用能力を向上させます。

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MEMS

分光エリプソメトリーは1µmのMEMS構造を 測定し、0.1nmの膜厚分解能を提供します。 単一の測定で厚さ、屈折率、組成、および汚染を提供します。ECMモードは迅速な品質管理と曲面測定を 可能にします。

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フォトニクス

分光エリプソメトリーは1µmの横方向分解能と 0.1nmの厚さ分解能で光ファイバーと導波路を 測定します。190nmから1700nmまでをカバーし、2700nmまで拡張可能で、光学データと迅速な品質管理を提供します。

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ディスプレイ

ミクロンサイズの領域に対する分光測定には、 1回の実行で複数の測定を行うための ROIコンセプトを使用します。 190nmまでのUV範囲はディスプレイ材料を 特性化します。単一の測定で厚さ、分散、および組成を提供し、RCE6モードは20秒未満のタクトタイムを 可能にします。

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バッテリー材料

作動中のイメージングエリプソメトリーは 充電および放電中のバッテリー電極材料を監視し、DeltaとPsiの微視的マップを測定します。さまざまな領域からデータを提供し、後処理分析にはプロファイル、サブリージョン、およびヒストグラム分析が含まれます。