FX40 with monitor

Accurion SIMON

Your Entry to Imaging Ellipsometry

SIMONは、イメージングエリプソメトリーにおける規則的な測定作業に特化した特別仕様となっています。シンプルなユーザーインターフェースと固定角エリプソメーターの堅牢性により、イメージングエリプソメトリーを容易に利用可能です。顕微鏡モードは非常に高速に、極薄膜(例えば単層膜:d = 0.35 nm)の変化や欠陥を可視化することができ、一方、エリプソメトリモードではサンプル材料の厚さと屈折率を測定することが可能です。 イメージングエリプソメトリー自体は、厚みと屈折率測定の感度と顕微鏡のイメージングを兼ね備えています。これにより、微細な構造を持つサンプルなどの厚みと屈折率の変化を顕微鏡画像で判断することが可能です。 典型的な用途としては、品質管理における大型サンプルの均一性や欠陥の表面検査、2次元材料の剥離フレークの高速検出などが挙げられます。

Surface Inspection Metrology of Nanofilms

典型的なアプリケーション:広い領域の検査と自動フレーク検索

SIMONは、大きな領域をスムーズに繋ぎ合わせるように設計されています。4インチのウェーハ全体を47分以内で検査し、10μmの小さな欠陥、粒子、不均一性を観察することができます。SIMONは、所望の厚さのフレークや材料を検索することもできます。SIMONのイメージング機能を通じて、単一測定のヒストグラム分析が可能となり、厚さや不均一性の分布についての詳細な洞察を提供します。

微細構造の厚さと屈折率の測定

エリプソメトリーと顕微鏡の組み合わせにより、サンプルの厚さマップを測定できます。これらのマップはAFM測定に匹敵しますが、トップ層以外も測定できます。さらに、イメージングエリプソメトリーは、約500μm(X)x 550μm(Y)の厚さマップを1分未満で測定します。厚さの分解能は0.01nm未満で、範囲は0.01nm < d < 5μmです*。エリプソメトリーモードは屈折率も決定します。これにより、例えばレーザーによって刻まれたホログラフィックグレーティングにおける屈折率の変動をユーザーが 確認できるようになります。波導管で見られるような小さな屈折率の変化も視覚化して観察できます。*サンプル/基板の組み合わせによる

Key Features

  • 初心者にも使いやすいシンプルなシステム
  • エリプソメトリ位置分解能が1 µmまで向上したイメージングエリプソメトリー
  • 微細構造物の厚みと屈折率の測定
  • 大面積の層厚分布や隠れた欠陥の高速可視化

アプリケーション

aaa

2D材料

イメージング分光エリプソメトリーは グラフェンや他の2D材料を特徴づけ、CVD成長、剥離、およびエピタキシャル 成長フレークをep4エリプソメーターで 分析します。

aaa

曲面

エリプソメトリーは平面および曲面上の薄膜と ARコーティングを測定します。 ep4エリプソメーターはマイクロレンズアレイの ARコーティング問題に対処します。

aaa

透明基板

透明基板上の薄膜はフレキシブルディスプレイの 鍵です。ナイフエッジ照明は反射を抑制し、 非破壊検査を可能にします。

aaa

表面工学

シラン化は塗料や接着剤の無機/有機成分を 結合させます。イメージングエリプソメトリーは、 蛍光マーカーなしで構造配列の 結合形成を検査します。

aaa

空気-水界面

空気/水界面は生物物理学および産業に おいて重要です。ブルースター角顕微鏡(BAM)はLangmuir-Blodgett単分子層および 生体材料を視覚化し、 分子、タンパク質、薬物、DNA、およびナノ粒子を調査します。

aaa

異方性フィルム

異方性微小結晶はエレクトロニクスで有望です。イメージングミューラーマトリックス エリプソメトリー(IMME)は異方性薄膜サンプル(ブラックリンなど)の屈折率および 光軸方向を測定します。

aaa

バイオインターフェース

イメージングエリプソメトリー(IE)は単層および サブ単層厚さに対して高感度を提供します。 これはエリプソメトリ角度のマイクロマップおよび 厚さ変化のコントラストモードを提供します。セルやQCM-Dなどのアクセサリーは、生物学的応用能力を向上させます。

aaa

MEMS

分光エリプソメトリーは1µmのMEMS構造を 測定し、0.1nmの膜厚分解能を提供します。 単一の測定で厚さ、屈折率、組成、および汚染を提供します。ECMモードは迅速な品質管理と曲面測定を 可能にします。

aaa

フォトニクス

分光エリプソメトリーは1µmの横方向分解能と 0.1nmの厚さ分解能で光ファイバーと導波路を 測定します。190nmから1700nmまでをカバーし、2700nmまで拡張可能で、光学データと迅速な品質管理を提供します。

aaa

ディスプレイ

ミクロンサイズの領域に対する分光測定には、 1回の実行で複数の測定を行うための ROIコンセプトを使用します。 190nmまでのUV範囲はディスプレイ材料を 特性化します。単一の測定で厚さ、分散、および組成を提供し、RCE6モードは20秒未満のタクトタイムを 可能にします。

aaa

バッテリー材料

作動中のイメージングエリプソメトリーは 充電および放電中のバッテリー電極材料を監視し、DeltaとPsiの微視的マップを測定します。さまざまな領域からデータを提供し、後処理分析にはプロファイル、サブリージョン、およびヒストグラム分析が含まれます。