椭偏仪

参比光谱椭偏仪

RSE是一种特殊类型的椭偏仪，它通过将参比样品和被测样品进行比较，测量它们之间的差异从而对被测样品进行椭偏分析。在测量过程中没有任何需要转动或者调制的光学部件，并且可以在单次测量中获得完整的、高分辨率的光谱椭偏数据。通常可每秒采集200个光谱数据。通过配备同步的XY二维自动样品台可以在数分钟内测量获得大面积样品的薄膜厚度分布图。