晶圆计量 Park AFM晶圆系统在晶圆制造中扮演着关键角色,通过精确的纳米级测量和控制,确保器件的准确构建。 光掩模修复 Park AFM用于光掩模修复,提供了一体化解决方案,从自动缺陷检查到修复及后续修复验证,显著提升了修复效率和通量。 先进封装 Park AFM通过白光干涉技术(WLI)的先进整合,提升了质量保证和过程控制,在包括先进封装和研发计量在内的所有半导体制造阶段都得到了应用。 平板显示器 对于平板显示器制造,包括OLED、LCD和光子学,Park AFM提供了一种高精度且非破坏性的测量方法,专为超过300毫米的大样品分析进行了优化。