산업용 원자현미경

Advanced Packaging

Park NX-Hybrid WLI는 반도체 및 관련 제조 품질 보증, 반도체 프런트엔드 공정 제어, 백엔드부터 첨단 패키징까지, R&D 계측을 위한 WLI 프로파일 측정 기능이 내장된 최초의 AFM입니다. 나노 이하의 해상도와 초고정확도를 갖춘 나노미터 규모의 영역까지 확대할 수 있는 넓은 영역에 걸쳐 높은 처리량 측정이 요구 되는 환경에 적합한 솔루션입니다.