웨이퍼 가공
완전 자동화된 Park 원자현미경은 인라인 웨이퍼 제조 공정에 최적화하도록 설계되었습니다. 자동 팁 교환 및 로봇식 웨이퍼 처리 기능을 갖추고 기존 제조 라인에 원활하게 통합되어 반도체 생산 엔지니어링 및 품질 보증을 위한 효율적인 솔루션 역할을 합니다.
포토마스크 리페어
마스크 수리를 위한 Park AFM은 자동화된 결함 검토부터 수리 및 후속 수정 사항 검증까지 전체 프로세스를 간소화하는 포괄적인 솔루션을 제공하여 수리 효율성과 처리량을 크게 향상시킵니다.
첨단 패키징
Park NX-Hybrid WLI는 반도체 및 관련 제조 품질 보증, 반도체 프런트엔드 공정 제어, 백엔드부터 첨단 패키징까지, R&D 계측을 위한 WLI 프로파일 측정 기능이 내장된 최초의 AFM입니다. 나노 이하의 해상도와 초고정확도를 갖춘 나노미터 규모의 영역까지 확대할 수 있는 넓은 영역에 걸쳐 높은 처리량 측정이 요구 되는 환경에 적합한 솔루션입니다.
평판 디스플레이
OLED, LCD 및 포토마스크를 포함한 평면 패널 디스플레이 제조 및 계측을 위하여, Park AFM은 300mm를 초과하는 대규모 샘플 분석에 최적화된 가장 정확하고 비파괴적인 측정 방법을 제공합니다.