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산업용 원자현미경
Flat Panel Display
대형 평면 패널 디스플레이에 대한 정밀한 계측에 대한 수요가 증가함에 따라 Park NX-Tip 스캔 헤드는 300 mm가 넘는 샘플에 대한 나노 계측 문제를 극복합니다. 팁 스캐닝 헤드와 갠트리 스타일 에어 베어링 스테이지를 통해 Park NX-TSH는 이미지 거칠기 측정, 스텝 높이 측정 및 임계 치수 측정을 정확하게 수행할 수 있습니다.
원자력 현미경은 나노 규모에서 샘플을 측정하는 가장 정확하고 비파괴적인 방법이며, Park NX-TSH를 사용하면 OLED, LCD, 포토마스크 등에서 신뢰할 수 있는 고해상도 AFM 이미지를 얻을 수 있습니다.