ナノスケールの超大型・重量フラットパネルディスプレイ用自動AFMシステム
大型フラットパネルディスプレイにおける原子間力測定の需要が高まる中、Park NX-Tipスキャンヘッドは300mmを超えるサンプルのナノ計測の課題を克服します。この先進的なスキャンヘッドとガントリー型エアベアリングステージの組み合わせにより、Park NX-TSHは粗さ測定、段差測定、および重要寸法測定を高精度で実行できます。原子間力顕微鏡(AFM)は、ナノスケールサンプルを測定する最も正確かつ非破壊的な手法であり、Park NX-TSHを使用することで、OLED、LCD、フォトマスクなどのアプリケーションにおいて、信頼性の高い高解像度のAFM像を提供します。