FX40 with monitor

Park NX-TSH

超大型で重いサンプルのための 全自動化AFMソリューション

大型フラットパネルディスプレイにおける原子力計測の需要の高まりに応えるために、Park NX-TSHチップスキャンヘッドは300mm以上のサンプルのナノ計測を巧みに処理します。チップスキャンヘッドとガントリースタイルのエアベアリングステージにより、精密な粗さ、段差高さ、および重要寸法の測定が可能です。非常に高精度で非破壊的な方法として、Park NX-TSHを使用した原子力顕微鏡は、OLED、LCD、フォトマスクなどに信頼性の高い高解像度のAFM画像を提供します。

ナノスケールの超大型・重量フラットパネルディスプレイ用自動AFMシステム

大型フラットパネルディスプレイにおける原子間力測定の需要が高まる中、Park NX-Tipスキャンヘッドは300mmを超えるサンプルのナノ計測の課題を克服します。この先進的なスキャンヘッドとガントリー型エアベアリングステージの組み合わせにより、Park NX-TSHは粗さ測定、段差測定、および重要寸法測定を高精度で実行できます。原子間力顕微鏡(AFM)は、ナノスケールサンプルを測定する最も正確かつ非破壊的な手法であり、Park NX-TSHを使用することで、OLED、LCD、フォトマスクなどのアプリケーションにおいて、信頼性の高い高解像度のAFM像を提供します。

OLED、LCD、および2Dエンコーダーサンプル用 完全に自動化されたチップスキャンヘッド

大型パネルディスプレイ製造の分野、特に300mmを超えるサンプルにおいては、精密な計測が極めて重要です。この分野では、OLEDやLCDといった最終製品の品質と性能を保証するために、大型基板上のナノスケールの特徴を正確に測定・分析することが求められます。弊社は、大型パネルのスキャニングに特化した原子間力顕微鏡(AFM)により、この課題に対応しています。

  • 大量サンプル分析に最も信頼性の高い方法

    大型フラットパネルディスプレイのAFM測定需要が高まる中、Park NX-TSHはティップスキャニングヘッドとガントリー型エアベアリングステージを備え、大型および重量のあるサンプルのナノスケール計測における課題を克服します。

    大量サンプル分析に最も信頼性の高い方法
  • 次世代フラットパネルディスプレイ 製造企業向けに特別に開発

    パーク・システムズは、大型サンプルの自動測定向けにチップスキャンヘッドであるPark NX-TSH(Tip Scanning Head)を開発しました。Gen8+およびすべての大型フラットパネルディスプレイ用のAFMツールとしてさらなる進化を遂げます。これは、300 mmサイズの限界値超えを克服することを目的とした製造企業向けに特別に開発されました。

    次世代フラットパネルディスプレイ 製造企業向けに特別に開発
  • シリコンウェーハ直径での変化

    Park NX-TSHは、コンダクティブAFM(C-AFM)を使用して、サンプルの表面に接触するウェーハレベルの小さなデバイス、またはチップに電流を供給するオプションのプローブステーションでサンプル表面を測定できます。Park NX-TSHは、マイクロプローブステーションを統合することで電気特性計測を行う2Dエンコーダーサンプル用装置です。

    シリコンウェーハ直径での変化
  • 自動チップスキャンヘッドシステム

    Park NX-TSH チップスキャンヘッドシステムは、次世代フラットパネルディスプレイを製造するメーカーに対して、柔軟性と精度を向上させます。サンプルをチャックに固定し、ガントリーに取り付けられたチップスキャンヘッドを使用することで、サンプルのサイズと重量に関連する制限を効果的に克服します。300 mmのしきい値を超えることを目指すファブが直面する課題に対処するために特別に開発されたPark NX-TSHは、包括的なソリューションを提供します。導電AFM機能を備え、サンプル表面の精密な測定を可能にし、さらにオプションのプローブステーションによって強化され、ウェーハ上のデバイスに電流を供給することができます。

    自動チップスキャンヘッドシステム
  • 自動測定制御による労力削減と正確なスキャン

    Park NX-TSHには自動化ソフトウェアが搭載されており、操作は非常に簡単です。必要な測定プログラムを選択するだけで、カンチレバー調整、スキャン速度、ゲイン、パラメーター設定と、各設定の最適化により、正確なマルチ分析を行うことができます。 パーク・システムズの使いやすいソフトウェアインターフェイスにより、カスタマイズされた操作ルーチンを柔軟に作成できるため、Park NX-TSHのすべての機能にアクセスして、必要な測定を行うことができます。 新しいルーチンの作成は簡単です。ゼロから作成するのに10分、既存のものを変更するのに5分もかかりません。

    自動測定制御による労力削減と正確なスキャン

100 µm x 100 µmフレキクチャーガイド 式クローズドループ 制御搭載型XYスキャナ

XYスキャナは、対称的な2次元フレクチャー式ピエゾスタックで構成されており、面外運動を最小限に抑えながら高度に直交する動きを実現し、ナノメートルスケールでの正確な サンプルスキャンに不可欠な高い応答性も実現します。

低ノイズ位置センサー付き 15µm 高速Zスキャナ

Park NX-TSHは、一般的に使用される本来非線形のZ電圧信号の代わりに、超低ノイズZ検出器を利用することにより、トポグラフィー高さ測定においてかつてない精度を実現できます。業界をリードする低ノイズZ検出器は、印加されたZ電圧をトポグラフィー信号として置き換えます。

300mmを超えるサンプルの AFM分析用長広範囲 エアベアリングXYステージ

Park NX-TSHは、チップスキャニングヘッドとガントリー型エアベアリングステージ および高解像度の出力により、大型で重いサンプルのナノ計測の課題を解決します。エアベアリングステージテクノロジーは、より高速なアクセスと完全に自動化されたシステムを提供し、生産性向上に貢献します。

Applications

Perfect for Diverse Applications