采用管式扫描器的传统AFM会受到平面外运动和轴向串扰的影响,从而导致图像失真,尤其是在大面积扫描时。与所有 Park AFM一样, FX40采用了先进的平板扫描器技术:2D柔性扫描器在XY平面上移动样品,同时由单独的1D柔性扫描器独立控制探针的Z轴运动。该分离式扫描器系统可确保高度正交的线性扫描,同时将平面外运动降至最低并具备快速动态响应性能。
该分离式扫描器系统配备用于XY反馈的低噪声光学传感器和用于Z控制的超低噪声应变传感器,可确保高度正交的线性扫描,同时将平面外运动降至最低并具备快速动态响应性能。