Park NX15 是一个具有成本效益的前沿 AFM 系统，提供强大的大样品检测性能。该技术前沿的 AFM 专为大样品检测而设计，并拥有一系列创新功能。
Park NX15 包含许多丰富强大的功能，使其非常适合处理多样化样品的共享实验室、进行多变量实验的研究人员以及从事晶圆故障分析的工程师。其合理的价格和强大的功能组合也使其成为行业中性价比高的大样品 AFM 之一。
我们前沿的 AFM 系统具有自动成像功能，能够在一次扫描中处理多个样品，利用专门设计的多样品卡盘最多可容纳 16 个独立样品。该系统配备了全电动 XY 样品台，提供高达 150 mm x 150 mm 的广泛行程能力，确保高效的样品处理。
我们的系统具有两个独立的闭环 XY 和 Z 挠性扫描器，确保 XY 扫描平整且正交，残余弓形低，从而实现优异的成像保真度。通过 NX 电子控制器增强，该系统提供更准确的高度测量，而无需依赖软件处理，优化了各个维度的精度。
我们的系统配备了快速 Z 伺服速度，支持非接触模式，减少探针磨损，并延长高质量、高分辨率成像功能的寿命。
我们的系统具有多种测量模式和表征方法，通过可选配件和升级扩展了功能，提供详细故障分析 (FA) 所需的高级电学测量。
Park NX15 MultiSample™ 扫描系统提供一次扫描多个样品的自动成像，配备专门设计的多样品卡盘，最多可装载 16 个独立样品。系统包括全电动 XY 样品台，行程范围高达 150 mm x 150 mm，并且具有电动功能，MultiSample Scan™ 通过步进扫描自动化实现可编程的多区域成像。
Park 的消除串扰扫描器结构消除了扫描器弓形，实现了无论扫描位置、扫描速度和扫描尺寸如何都能进行平整正交的 XY 扫描。即使在平坦的样品（如光学平面）上进行各种扫描偏移，也不会出现背景弯曲。这为用户提供了高精准的纳米计量，适用于研究和工程中颇具挑战性的问题。
Park AFM 配备了领域内有效的低噪声 Z 探测器，具有在大带宽内 0.02 nm 的噪声。这产生了高度准确的样品形貌图，没有边缘过冲。这只是 Park NX 系列为您节省时间并提供更好数据的众多方式之一。
