インライン計測用AFM

フラットパネルディスプレイ向けAFM

大型フラットパネルディスプレイに対する原子間力顕微鏡（AFM）の需要が高まる中、Park NX-Tipスキャンヘッド（NX-TSH）は、300mmを超えるサンプルのナノ計測の課題を克服しました。AFMは、ナノスケールのサンプルを測定する最も正確で非破壊的な手法であり、NX-TSHを用いることで、OLED、LCD、フォトマスクなどの分野において、高信頼性かつ高解像度のAFM画像を得ることが可能です。これにより、大型サンプルに対する高精度のナノ計測を実現し、研究者および科学者の要求に応える高度なソリューションを提供します。