原子間力顕微鏡
研究・表面分析用AFM
研究用の卓上型AFMから自動AFMや高真空AFMまで、多様なAFMラインナップを提供しています。
原子間力顕微鏡
インライン計測用AFM
パーク・システムズは、半導体製造や故障解析向けに自動AFMを提供し、高精度な測定で製造の効率と品質を向上させます。
エリプソメーター
光学プロフィロメトリー
薄膜特性評価のためのエリプソメトリー
Digital Holographic Microscopes
Digital Holographic Microscopes
Non-contact 3D optical microscopy for research and industrial applications
振動制御
アクティブ除振台
イメージング精度を高める防振システム