ウェハーファブ用AFM
Park AFM Wafer Systemsは、ウェーハ製造におけるナノスケールの精密測定と制御において重要な役割を果たし、デバイスの正確な製造を保証します。
フォトマスクリペア
フォトマスクリペア用のPark AFMは、自動欠陥レビューからリペア、その後の修正検証までを包括的に合理化するソリューションを提供し、リペアの効率とスループットを大幅に向上させます。このシステムは、フォトマスクの微細な欠陥を高精度で検出し、迅速なリペアと精緻な修正検証を実現します。
Advanced Packaging
Park AFM's pioneering integration of White Light Interferometry (WLI) enhances quality assurance and process control across all semiconductor manufacturing stages, including advanced packaging and R&D metrology.
フラットパネルディスプレイ向けAFM
OLED、LCD、フォトニクスなどのフラットパネルディスプレイ製造において、Park AFMは300mmを超える大型サンプルの分析に特化し、高精度で非破壊な測定手法を提供します。これにより、微細な表面特性の評価や製品の品質管理が向上し、製造プロセスの効率化と最適化が実現されます。
光学プロフィロメトリー
Park Systems’ optical profilometry solutions provide high-speed, non-contact surface metrology with nanometer-level vertical resolution, enabling accurate large-area surface measurement for semiconductor and advanced production environments.
HDD Media Inspection
Park AFM systems enable precise nanoscale surface analysis for HDD heads and automated defect detection for HDD substrates and media, ensuring stringent quality standards and improved manufacturing yield.