用于产线计量的原子力显微镜

光学轮廓仪

光学轮廓仪可实现快速、非接触式表面计量,对晶圆形貌、薄膜及微观结构进行大面积精确表征。Park 的全自动光学轮廓仪系统具备纳米级垂直灵敏度和稳定可靠的测量性能,可为半导体及先进制造领域的各类应用提供可靠的表面分析。