晶圆计量
Park AFM晶圆系统在晶圆制造过程中精确的纳米级测量和控制中起着至关重要的作用,确保设备的准确构建。
光掩模修复
用于光掩模修复的Park AFM提供了一个全面的解决方案,从自动缺陷检查到修复和后续验证,大大提高了修复效率和吞吐量。
先进封装
Park AFM 率先集成白光干涉仪(WLI)技术,提升了包括先进封装和研发计量在内的所有半导体制造阶段的质量保证与工艺控制水平。
平板显示器
对于平板显示制造(包括OLED、LCD和光子学),Park AFM提供了一种高度准确且非破坏性的测量方法,优化用于超过300mm的大样品分析。
光学轮廓仪
Park Systems 光学轮廓仪可实现高速非接触式表面测量,垂直分辨率达纳米级,适用于半导体产线及先进制造中的大面积形貌精密检测。
硬盘(HDD)介质检测
Park AFM 系统可对硬盘磁头进行精确的纳米级表面分析,并对硬盘基板及介质实现自动化缺陷检测,确保严格的质量标准并提高生产良率。