模块化且灵活
紧凑的尺寸和灵活性使该产品系列非常适合安装在客户特定的应用中。 与光学面包板的组合非常常见，因为它充当隔离元件之间的机械连接。 事实证明，焊接钢框架作为 Vario 系统的稳定支撑结构是成功的。这些框架的目的是在考虑水平和垂直刚度的情况下集成主动隔振系统。通过这样的使用，隔离系统可以根据客户的要求达到方便的工作高度。
Accurion Vario Series
适用于各种应用的多功能解决方案
Vario 系统是基于元件的模块化隔振系统，由至少两个隔离元件和一个外部控制单元组成。 该产品系列专为隔离中型到大型仪器和客户特定应用而设计。 主要型号 Vario Basic 特别适合隔离高静态负载。 这些元件始终成对使用，因此您可以配置两个、四个、六个或更多隔离元件。 我们的产品组合包括三种标准长度，以匹配各种设置的尺寸。
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主要特点
- 六个自由度主动隔振
- 无低频共振 - 低频范围内具有优质的隔振特性
- 低至1Hz开始主动隔振(>200Hz被动隔振)
- 只需0.3秒的设置时间
- 接电即可，无需压缩空气
- 方便的手动负载调节 - 可选自动调节负载
- 优良的位置稳定性和刚度
- 提供多种标准版本和定制选项
- 外部控制单元
Polytec TopMap on Vario Basic
Performance Demonstration
Floating monolayer of ethylstearate
(FoV: 400 µm x 400 µm)
Polymer drop on silicon substrate
(FoV: 50 µm x 50 µm)
Gold on carbon
SiC wafer with graphene
(FoV: 0.5 µm x 0.5µm)
