模块化且灵活
紧凑的尺寸和灵活性使该产品系列非常适合安装在客户特定的应用中。 与光学面包板的组合非常常见，因为它充当隔离元件之间的机械连接。 事实证明，焊接钢框架作为 Vario 系统的稳定支撑结构是成功的。这些框架的目的是在考虑水平和垂直刚度的情况下集成主动隔振系统。通过这样的使用，隔离系统可以根据客户的要求达到方便的工作高度。
主要特点
- 六个自由度主动隔振
- 无低频共振 - 低频范围内具有优质的隔振特性
- 低至1Hz开始主动隔振(>200Hz被动隔振)
- 只需0.3秒的设置时间
- 接电即可，无需压缩空气
- 方便的手动负载调节 - 可选自动调节负载
- 优良的位置稳定性和刚度
- 提供多种标准版本和定制选项
- 外部控制单元
Polytec TopMap on Vario Basic
Performance Demonstration
Floating monolayer of ethylstearate
(FoV: 400 µm x 400 µm)
Polymer drop on silicon substrate
(FoV: 50 µm x 50 µm)
Gold on carbon
SiC wafer with graphene
(FoV: 0.5 µm x 0.5µm)
